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三維雕刻金屬-介質薄膜

隨著對沉積金屬原子遷移性問題的克服,雕刻薄膜技術已從單一的二維結構發展成令人驚艷的三維結構。首先,我們引入了基板冷卻技術,成功生長出各式金屬奈米結構;隨後,製作出能展現強烈圓偏振吸收效果及優異SERS訊號的銀與金奈米螺旋陣列;進一步,我們利用金屬與介電材料的複合技術進行結構雕塑;最終,通過斜向沉積成功製備出Al-SiO₂八角奈米螺旋陣列,在可見光範圍內展現出高效的光學吸收性能。該技術有望在未來應用於各類具有特殊複雜折射率的金屬–介電八角奈米螺旋陣列的製作,從而開發新型光學元件。
Yi-Jun Jen, Chien-Chi Chen, and Ci-Yao Jheng, ”Aluminum-jointed silicon dioxide octagon nanohelix array with desired complex refractive index,” Optics Letters, 39, 12 (2014)
Yi-Jun Jen, Yu-Jie Huang, Wei-Chih Liu, Yueh Weng Lin,“Densely packed aluminum-silver nanohelices as an ultra-thin perfect light absorber,” Scientific Reports, 7 : 39791 (2017)
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