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林廸
副教授
基本資料
期刊論文
現職：
臺北科大／能源與冷凍空調工程系
授課資訊
聯絡方式：
Mail
期刊論文
"Moisture Prevention in a Pre-Purged Front-Opening Unified Pod (FOUP) During Door Opening in a Mini-Environment", IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, 31, 1, 108-115, 2018/01, SCI
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