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國立臺北科技大學 學術資源網

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林廸助理教授

現職:
臺北科大/能源與冷凍空調工程系
聯絡方式:

期刊論文

  • "Moisture Prevention in a Pre-Purged Front-Opening Unified Pod (FOUP) During Door Opening in a Mini-Environment", IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, 31, 1, 108-115, 2018/01, SCI
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