光製造與檢測實驗室Light Manufacture and Inspection Lab歡迎有研究熱忱之大學專題生與研究生 加入本實驗室！

名稱及型號:形態分析雷射共軛焦兼白光干涉顯微鏡 (3D Surface Profiler VK-3000 series)
物鏡倍率 : 10 倍 20 倍 50 倍
高度重複精度σ : 10X : 100 nm、20X : 40 nm、50X : 12 nm
寬度重複精度3σ : 10X : 200 nm、20X : 100 nm、50X : 40 nm
掃描頻率 : 125 Hz(面)、7900 Hz(線)
視野範圍 : 11至7398 μm
載物平台移動範圍 : 100 mm x 100 mm

服務內容：
1.輪廓量測 : 高度、寬度、截面積、形狀角度、R值測量。
2. 粗糙度量測 : 直線粗糙度、表面粗糙度量測。
3. 3D量測 : 體積、表面積、表面積比率量測。
4. 自動寬度量測 : 自動寬度、自動高度量測。
5. 比較性量測 : 可顯示兩目標物的重疊截面輪廓，並量測它們在寬度、高度以及截面上的差異。
6. 2D+3D量測。
7. 透明薄膜量測 : 區域薄膜厚度量測、透明物體最外層表面觀察。

儀器管理者：
機械系 曾釋鋒教授

儀器聯絡者：
機械系 曾釋鋒教授
聯絡分機：#4807